纳米单晶硅衬底2D线性纳米棒-上海屹持光电技术有限公司

纳米单晶硅衬底2D线性纳米棒

更新：2019-07-08 14:46:29 点击：

品牌： EW
型号： SNS

产品介绍

屹持光电提供各种纳米单晶硅衬底2D线性纳米棒，为工业和科研提供低成本的纳米光子学研究。基板可用于光学、生物学、化学、物理学（例如中子散射）、聚合物研究、纳米压印、微流体等各种应用。如果需要，可以用金属或介电涂层涂覆基底。大多数表面特征具有略微梯形的横截面轮廓，具有直平行台面和沟槽。也可以使用格状结构。提供多种特征尺寸和沟槽深度。可以在发货之前拍摄基板的SEM图像以验证确切的轮廓。

表中显示的尺寸代表目标值。周期的精度优于0.5％，而沟槽深度和线和空间的宽度可能与目标值相差15％。SEM用于说明目的。可定制更精确尺寸信息。

纳米单晶硅衬底2D线性纳米棒规格

描述	值
基材宽度和高度公差	标准公差±0.2 mm
通光孔径（CA）	距基板边缘0.5 mm（图案可延伸至基板边缘）
基材厚度	0.675±0.050mm
CA表面质量	P / N “-P”：60/40，最高20/10
CA表面质量	P / N “-S” ：80/100
CA外表面质量	无要求
材料	单晶硅，反应离子蚀刻

1、线性纳米棒（线+间隔）

P/N	周期（nm）	凹槽深度（nm）	工作周期¹	线宽度²（nm	尺寸³（mm）
SNS-C72-1212-50-P	139	50	50％	69.5	12.5×12.5×0.7
SNS-C72-2525-50-P	139	50	50％	69.5	25×25×0.7 ⁵
SNS-C36-1212-110-P	278	110	50％	139	12.5×12.5×0.7
SNS-C24-1212-110-P	416.6	110	50％	208	12.5×12.5×0.7
SNS-C20-0808-150-D45-P	500	150	44％	220	8×8.3×0.7
SNS-C20-0808-350-D45-P	500	350	44％	220	8×8.3×0.7
SNS-C20-0808-150-D60-P	500	150	60％	300	8×8.3×0.7
SNS-C20-0808-350-D60-P	500	350	60％	300	8×8.3×0.7
SNS-C18-2009-110-D50-P	555.5	110	50％	278	20×9×0.7
SNS-C18-2009-140-D50-P	555.5	140	50％	278	20×9×0.7
SNS-C18-2009-110-D29-P	555.5	110	29％	158	20×9×0.7
SNS-C18-2009-140-D29-P	555.5	140	29％	158	20×9×0.7
SNS-C16.7-0808-150-D45-P	600	150	43％	260	8×8.3×0.7
SNS-C16.7-0808-350-D45-P	600	350	43％	260	8×8.3×0.7
SNS-C16.7-0808-150-D55-P	600	150	55％	330	8×8.3×0.7
SNS-C16.7-0808-350-D55-P	600	350	55％	330	8×8.3×0.7
SNS-C16.5-2912-190-P	606	190	50％	303	29×12×0.7
SNS-C16.5-2912-190-S 4	606	190	50％	303	29×12×0.7
SNS-C16.5-2924-190-P	606	190	50％	303	29×24.2×0.7⁵
SNS-C14.8-2410-170-P	675	170	32％	218	24×10×0.7
SNS-C14.8-2430-170-P	675	170	32％	218	24×30.4×0.7 ⁵
SNS-C14.3-0808-150-D45-P	700	150	47％	330	8×8.3×0.7
SNS-C14.3-0808-350-D45-P	700	350	47％	330	8×8.3×0.7
SNS-C14.3-0808-150-D55-P	700	150	55％	375	8×8.3×0.7
SNS-C14.3-0808-150-D55-P	700	150	55％	375	8×8.3×0.7
SNS-C12-1212-200-P	833.3	200	50％	416	12.5×12.5×0.7
SNS-C12-2525-200-P	833.3	200	50％	416	25×25×0.7⁵
SNS-C11.7-1212-200-P	855	200	50％	428	12.5×12.5×0.7
SNS-C11.7-2525-200-P	855	200	50％	428	25×25×0.7 ⁵

1 占空比表示线（台面）宽度与周期的比率。
2 表示台面的宽度值。
3 第二维对应于凹槽长度。
4 以“-S”结尾的是“科研”等级。它至少有80％的可用面积。可能存在高达80/100表面质量值。
5 可提供更大的自定义尺寸

2、2D纳米图案（矩形和六边形网格）

P/N	周期（nm）	格子类型	凹槽深度	特征宽度（nm）	尺寸（mm）
S2D-24B3-0808-150-P	700	矩形	150	260	8×8.3×0.7
S2D-24B3-0808-350-P	700	矩形	350	260	8×8.3×0.7
S2D-18B3-0808-150-P	700	矩形	150	350	8×8.3×0.7
S2D-18B3-0808-350-P	700	矩形	350	350	8×8.3×0.7
S2D-24C2-0808-150-P	600	六角	150	165	8×8.3×0.7
S2D-24C2-0808-350-P	600	六角	350	165	8×8.3×0.7
S2D-18C2-0808-150-P	600	六角	150	240	8×8.3×0.7
S2D-18C2-0808-350-P	600	六角	350	240	8×8.3×0.7
S2D-24C3-0808-150-P	700	六角	150	220	8×8.3×0.7
S2D-24C3-0808-350-P	700	六角	350	220	8×8.3×0.7
S2D-18C3-0808-150-P	700	六角	150	290	8×8.3×0.7
S2D-18C3-0808-350-P	700	六角	350	290	8×8.3×0.7
S2D-24D2-0808-150-P	600	六角孔	150	180	8×8.3×0.7
S2D-24D2-0808-350-P	600	六角孔	350	180	8×8.3×0.7
S2D-18D3-0808-150-P	700	六角孔	150	200	8×8.3×0.7
S2D-18D3-0808-350-P	700	六角孔	350	200	8×8.3×0.7
S2D-24D3-0808-150-P	700	六角孔	150	290	8×8.3×0.7
S2D-24D3-0808-350-P	700	六角孔	350	290	8×8.3×0.7

rect post

hex post

hex hole

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