傅里叶分束镜FTIR分束器/补偿器对-上海屹持光电技术有限公司

傅里叶分束镜FTIR分束器/补偿器对

更新：2023-03-29 14:05:51 点击：

品牌： tydex
型号： FTIR Beam Splitter

产品介绍

傅里叶分束镜FTIR分束器/补偿器

应用和操作原理

傅里叶分束镜FTIR分束器/补偿器对用于傅里叶变换红外（FTIR）光谱仪中的迈克尔逊干涉仪方案。FTIR光谱仪通常基于迈克尔逊干涉仪，其中一个镜子是可移动的。两个反射镜位于干涉仪的两个臂上并且彼此垂直定向。分束器放置在直角的顶点，并相对于每个镜子以45°角定向。传递到分束器的光被分成两部分（理想地为50％/ 50％），它们进一步传播到两臂并从镜子反射。从分束器反射一次的光束（图中的上光束）也必须通过那里并通过倾斜的补偿板返回，以补偿另一个光束实际通过分束板三次而不是一次。在一定距离上扫描可移动镜，产生到达检测器的两个光束的干涉图案。

迈克尔逊干涉仪作为FTIR光谱仪的一部分

图1迈克尔逊干涉仪

作为FTIR光谱仪的一部分。

材料和光谱范围

通过选择适当的分束器和补偿器材料，可以覆盖从可见光到远红外线的波长范围。

材料选择包括以下材料：熔融石英（石英）（可见/近红外），CaF2，BaF2和ZnSe（近红外/中红外）。

高电阻率FZ-Silicon也可用于远红外区域的分光镜。由于菲涅耳反射，它可以在非常宽的波长范围内用于~50％/ 50％的光束分裂而无需任何涂层。

分束器与材料的典型工作波长范围。

Fused Silica可见光红外熔融石英	0.4-1.1μm（25,000-9,000 cm -1）或0.65-3.0μm（15,000-3,300 cm -1）
CaF2氟化钙	0.65-8.5μm（15,000-1,200 cm -1）
BaF2氟化钡	0.65-12μm（15,000-850 cm -1）
ZnSe硒化锌	2-20μm（5,000-500 cm -1）
HRFZ-Si高阻硅	50-1000μm（200-10 cm -1）

规格和公差

为了实现FTIR光谱仪的高分辨率，应该以非常高的精度生产分束器/补偿器对。特别是表面平整度，楔形公差和厚度匹配是非常重要的。

可实现的规格：

直径，mm	到100
表面平整度，λ为633 nm	到1/10
楔形公差，弧秒	到+/- 10
厚度匹配，μm	到1

最佳可能的规格取决于材料和参数组合。

涂层

为了对准目的，涂层的组合图案可以施加在FTIR分束器/补偿器的表面上。可见光束的“窗口” - 取决于干涉仪的尺寸设计的特殊形状的可见区域与IR区域一起放置。典型的涂层图案如下图所示。

ZnSe分束器/补偿器对的涂层图案

部分	区域	涂层类型	反射/透射
分束器	A	部分反射	R / T = 50％/ 50％@ 633nm
	B	部分反射	R / T =（50/50 +/- 10 ）％@7-14μm 或R / T =（50/50 +/- 20）％@2.5-14μm
	C	AR	R <0。5％@ 633 nm
	D	BBAR	R ave <4 ％@7-14μm 或R ave <5％@2.5-14μm
补偿器	A	AR	R <0。5％@ 633 nm
	B	BBAR	R ave <4 ％@7-14μm 或R ave <5％@2.5-14μm
	C	AR	R <0。5％@ 633 nm
	D	BBAR	R ave <4 ％@7-14μm 或R ave <5％@2.5-14μm