Phasics SID4系列 波前传感器
法国Phasics 公司的产品基于其波前测量专利(专利号CN200780005898)技术,即4 波横向剪切干涉技术。(4-Wave LateralShearing Interferometry)。在增强型改进型哈特曼掩模的基础之上,这种独特技术将超高分辨率和超大动态范围完美结合在了一起。任何应用下,其都能实现全面、简便、快速的测量。
Phasics波前传感器具有如下独特技术优势:
◆高分辨率相位图:可达400x300。
◆可直接测量高发散光束
◆消色差,匹配CCD整个探测范围,用于不同波长光而无需额外校准。
应用方向:
+ 激光束质量分析
+ 自适应光学
+ 光学系统测量
+ 生物成像
+ 热成像,等离子体表面物理
激光光束测量
自适应光学
光学系统测量
型号
SID4
SID4-HR
SID4-DWIR
SID4-SWIR
SID4-NIR
SID4-UV-HR
SID4- UV
孔径
3.6 × 4.8 mm²
8.9 × 11.8 mm²
13.44 × 10.08 mm²
9.6 × 7.68 mm²
13.6 ×10.96 mm²
8.0 × 8.0 mm²
空间分辨率
29.6 µm
68 µm
120 µm
40 µm
32 µm
采样点/测量点
160 × 120
400 × 300
80 × 64
345 × 275
250 × 250
波长
400nm~1100nm
3~5µm,8~14 µm
0.9 ~ 1.7 µm
1.5 ~ 1.6 µm
190 ~ 400 nm
250 ~ 400 nm
动态范围
> 100 µm
> 500 µm
N/A
~ 100 µm
> 200 µm
精度
10 nm RMS
15 nm RMS
75 nm RMS
> 15 nm RMS
10 nm
灵敏度
< 2 nm RMS
< 25 nm RMS
3nm RMS(高增益)
<1nmRMS(低增益)
< 11 nm RMS
1nm RMS @250nm,2µJ/cm²
0.5 nm
采样频率
> 60 fps
> 10 fps
> 50 fps
25/30/50/60 fps
60 fps
30 fps
处理频率
10 Hz (高分辨率)
3 Hz (高分辨率)
20 Hz
> 10 Hz (高分辨率)
10 Hz
> 3 Hz (高分辨率)
1 Hz
尺寸
54×46×75.3mm
54×46×79mm
85×116×179mm
50×50×90mm
44×33×57.5mm
51 × 51 × 76 mm
95×105×84mm
重量
250 g
1.6 kg
300 g
900 g
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