荷兰ISTEQ公司TEUS系列EUV光源
产品介绍：
ISTEQ公司开发了一种基于激光产生等离子体（LPP）的EUV光源。该光源具有极高的亮度和极高的稳定性。它采用可自刷新的材料，无需中断和更换燃料盒，因此持续运行时间极长。
ISTEQ公司为LPP光源开发的燃料是针对特定应用的光谱范围而设计的。然而，对于掩模检查的应用，公司开发了一种高频锡旋转靶，已在全球范围内获得专利。
产品特点：
·高亮度以及出色的稳定性
·最少的碎片
·极高的正常运行时间
·高占空比和交钥匙操作
·用户友好的自动化协议，确保系统平稳运行，没有中断的风险。
产品应用：
·掩模和表面检查：
·图案掩模检测 (PMI)
·区域掩模检测 (AIMS)
·掩模空白检测 (MBI)
·EUV 扫描仪检
·材料科学
·晶圆检查
TEUS 系列激光等离子体光源
型号参数：
型号
TEUS S-100
TEUS S-200
TEUS S-400
激光平均功率W
100
200
400
脉冲重频 kHz
25或70
50或135（可调）
100或200（可调）
EUV功率立体角 sr
0.05
等离子体尺寸 μm
≤ 60或 ≤ 40
≤ 60或 ≤ 45
带内辐射转换效率(13.5 nm±1%)
2 % @2π·sr or 1.6% @2π·sr
碎片处理系统后角内光通量mW
11 或 9
22 或 18
44 或 40
碎片处理系统后光谱亮度W/mm2·sr
≥ 80或 ≥ 140
≥ 160或 ≥ 280
≥ 310或 ≥ 500
等离子体稳定性
3% rms
在24/7运行状态下，在不使用特殊膜过滤器情况下，收集器寿命下降10%
不少于8个月
不少于4个月
不少于2个月
在24/7运行状态下，使用特殊膜过滤器情况下，收集器寿命下降10%
不少于18个月
不少于9个月
维护时间间隔
4 个月 - 1 天
3个月 - 2天
2个月 - 1天
24/7 运行模式下的正常运行时间***
4个月
3个月
1个月
电源
5 kW
8.5 kW
10.5 kW
尺寸（长×宽×高）mm
1500×1000×1200
重量，包括激光组件 kg
770
房间洁净度等级
ISO 7
水流量
10升/分钟
15升/分钟
25升/分钟
