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背景介绍 >>太赫兹近场扫描成像系统原理介绍
太赫兹波由于光子能量很低、 具有非破坏性和非电离特性, 使得太赫兹在材料检测和无损探测方面有着广泛应用. 更为值得提出的是太赫兹成像, 特别是在生物医学方面的成像, 引起了人们的广泛关注。在可见光不能穿透或X射线对比度无法达到要求的情况下, 太赫兹成像则成为一个好的选择。但是传统远场太赫兹成像系统受衍射极限的限制, 最小只能分辨λ/2的尺度, 即对应于1 THz的最小分辨率为0.15 mm。毫米量级的成像分辨率在一定程度上制约了太赫兹成像技术的应用。 因此, 发展近场探测和显微技术对于获得更高的分辨率显得尤为重要。 为了打破衍射极限, 提高空间分辨率, Hunsche等实现了一种太赫兹近场成像系统, 将太赫兹逐点成像的分辨率提高到了亚波长量级。 该工作将太赫兹近场成像技术的性能提高到了一个新层次, 为太赫兹成像的研究开辟了新的途径。
太赫兹近场探测的应用领域及其优势
—— 极高的空间成像分辨率，并且携带THz光谱的独有特性
太赫兹研究 薄膜检测 芯片封装测量 检测筛查 应用领域： •超材料和等离子体 •被动元器件 •辐射源 •天线和波导 •传感器表面 •石墨烯 应用领域： •太阳能电池 •显示器 •柔性电子器件 •半导体 •石墨烯 •透明导体 应用领域： •时间分辨反射测量 •故障隔离 •包装检测 •3D 集成 •硅通孔技术 (TSV) 应用领域： •激光塑料焊接检测 •聚合物纤维光纤 •芯片填充不足检测 •有机层筛选 Tera-Cube优点： •近场贪财 •核算的太赫兹时域光谱仪系统扩展 •高的灵敏度 •低噪声 •偏振敏感 •宽带性 Tera-Cube优点： •薄膜电阻成像 •非接触测量 •微米尺寸的分辨率 •大面积扫描 •高速扫描成像 Tera-Cube优点： •市场领先的 TDR解决方案 •亚皮秒的上升时间 •非接触式的 •无损探测 Tera-Cube优点： •非接触式无损探测 •快速检测 •对可见光/红外不透明塑料的筛选 •微米级结构的检测
应用领域：
•超材料和等离子体 •被动元器件 •辐射源 •天线和波导 •传感器表面 •石墨烯
•太阳能电池
•时间分辨反射测量 •故障隔离 •包装检测 •3D 集成 •硅通孔技术 (TSV)
•激光塑料焊接检测 •聚合物纤维光纤 •芯片填充不足检测 •有机层筛选
Tera-Cube优点：
•近场贪财 •核算的太赫兹时域光谱仪系统扩展 •高的灵敏度 •低噪声 •偏振敏感 •宽带性
•薄膜电阻成像 •非接触测量 •微米尺寸的分辨率 •大面积扫描 •高速扫描成像
•市场领先的 TDR解决方案 •亚皮秒的上升时间 •非接触式的 •无损探测
•非接触式无损探测 •快速检测 •对可见光/红外不透明塑料的筛选 •微米级结构的检测
产品简介
屹持光电推出的THz-Cube太赫兹近场扫描成像系统，突破波长分辨率极限，可以使空间成像分辨率提高至3um。THz-Cube是一个自动化的太赫兹近场扫描系统。屹持光电推出的标准的近场扫描系统也可以使用客户自己的飞秒光源驱动，对飞秒光源要求如下：
中心波长: 770 nm ... 820 nm 重复频率: 10 MHz ... 1 GHz 平均功率: 60 mW ... 1.5 W 脉冲宽度: < 150 fs
Tera-Cube
太赫兹近场扫描原理
时域谱&频谱数据
产品特点
—— 高速连续扫描、数据采集；
—— 光学形貌探测，使得样品横向扫描时可以保持探针和样品表面距离保持一致；
—— 高动态范围锁相探测
—— 线性偏振切可旋转的太赫兹发射器，可以做偏振态独立测量
—— 集成CCD相机模块，控制探针头和样品位置
—— 控制软件可自动控制调节样品和探针距离，并进行数据采集和分析
样品测试
Example plots of the THz near-field distribution measured at a metamaterial surface for sensing applications which is locally loaded with sample material. Left: Peak excitation state, right: 2 ps after excitation.
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